|
Эталонные меры малой длины
Эталонные меры малой длины предоставляют возможность определять линейные размеры структур, предназначенные для метрологического обеспечения в широкой области применения.
Изготовление образцовых мер производится по специально разработанной для этой цели технологии, обеспечивающей высокое оптическое качество элементов структуры на прецизионных фоторезистивных хромированных пластинах. Исходя из т...
|